Low-temperature PECVD of nanodevice-grade nc-3C-SiC/

PSZJBL

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	496526 Cheng, Qijin, Shuyan, Xu, Long, Jidong, Ostrikov, Kostya (Ken)
Format:
Sprache:	eng
Schlagworte:	Nanocrystals Silicon carbide

Beschreibung
Zusammenfassung:	PSZJBL

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