Low-temperature PECVD of nanodevice-grade nc-3C-SiC/

PSZJBL

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: 496526 Cheng, Qijin, Shuyan, Xu, Long, Jidong, Ostrikov, Kostya (Ken)
Format:
Sprache:eng
Schlagworte: