Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication /

Includes bibliographical references and index

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Makabe, T. (Toshiaki), author, author
Format:
Sprache:eng
Veröffentlicht: Boca Raton, F.L. : CRC Press, Taylor & Francis Group, 2014
Schlagworte: