Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization /

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	302240 Madou, Marc J.
Ձևաչափ:
Լեզու:	eng
Հրապարակվել է:	Boca Raton, FL : CRC Press, 2002
Խորագրեր:	Microelectronics Integrated circuits Microelectromechanical systems Machining

Նմանատիպ նյութեր