Unified analytic formula for physical sputtering yield at normal ion incidence /

PSZJBL

Detalhes bibliográficos
Principais autores: 421888 Janev, R. K., Ralchenko, Yu. V., T. Kenmotsu
Formato:
Idioma:eng
Publicado em: Toki, Japan : NIFS, 2001
Assuntos: