Unified analytic formula for physical sputtering yield at normal ion incidence /
PSZJBL
Principais autores: | , , |
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Formato: | |
Idioma: | eng |
Publicado em: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
|
Assuntos: |
Resumo: | PSZJBL |
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PSZJBL
Principais autores: | , , |
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Idioma: | eng |
Publicado em: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
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Resumo: | PSZJBL |
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