О ЗАКОНЕ МУРА ДЛЯ МЭМС

С течением времени ощущается потребность во всё большем количестве микроэлектронных механических систем не только в промышленности, но и в самых различных областях – в здравоохранении, на транспорте, в связи, для усовершенствования средств сбора и преобразования энергии, в «умных» домах и при постро...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Тыныныка Александр Николаевич
Format: Article
Language:English
Published: Kherson National Technical University 2018-04-01
Series:Biomedicinskaâ Inženeriâ i Èlektronika
Subjects:
Online Access:http://biofbe.esrae.ru/pdf/2018/1/1156.pdf