О ЗАКОНЕ МУРА ДЛЯ МЭМС
С течением времени ощущается потребность во всё большем количестве микроэлектронных механических систем не только в промышленности, но и в самых различных областях – в здравоохранении, на транспорте, в связи, для усовершенствования средств сбора и преобразования энергии, в «умных» домах и при постро...
Main Author: | |
---|---|
Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Kherson National Technical University
2018-04-01
|
Series: | Biomedicinskaâ Inženeriâ i Èlektronika |
Subjects: | |
Online Access: | http://biofbe.esrae.ru/pdf/2018/1/1156.pdf |