EFECTO DE LA TEMPERATURA DEL SUSTRATO EN LA RUGOSIDAD E ÍNDICE DE REFRACCIÓN EN EL VISIBLE E INFRARROJO CERCANO DE PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE TANTALIO

EFECTO DE LA TEMPERATURA DEL SUSTRATO EN LA RUGOSIDAD E ÍNDICE DE REFRACCIÓN EN EL VISIBLE E INFRARROJO CERCANO DE PELÍCULAS DELGADAS DE NITRURO DE TANTALIO

El presente trabajo ha sido desarrollado con la finalidad de determinar el efecto del incremento de la temperatura de sustrato sobre su índice de refracción y rugosidad de películas delgadas de nitruro de tantalio (TaN). Las películas delgadas de TaN fueron depositadas sobre obleas de silicio (100)...

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Bibliographic Details
Main Authors: Hugo A. Torres-Muro, Arturo Talledo-Coronado, Roberto Machorro-Mejía, José Ordoñez-Miranda, Manuel E. Guevara-Vera
Format: Article
Language:English
Published: Universidad Nacional de Colombia 2020-07-01
Series:Momento
Subjects:
pulverización reactiva
película delgada
nitruro de tantalio
estructura cristalina
elipsometría espectral (se)
Online Access:https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/86003

Internet

https://revistas.unal.edu.co/index.php/momento/article/view/86003

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