تاثیر کاشت یونی ژرمانیم در فرآیند ایجاد اکسید حرارتی سیلیکون
سرعت اکسید شدن در سیلیکون می تواند در اثر وجود ناخالصی ها تغییر کند.
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | fas |
| Published: |
Nuclear Science and Technology Research Institute
1991-05-01
|
| Series: | مجله علوم و فنون هستهای |
| Online Access: | https://jonsat.nstri.ir/article_922_aceafa3074af26a93480b3b36990cb27.pdf |