Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
প্রধান লেখক: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
বিন্যাস: | প্রবন্ধ |
ভাষা: | English |
প্রকাশিত: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
মালা: | ACS Omega |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |
আইএসএসএন: | 2470-1343 |
---|