Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক: Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori
বিন্যাস: প্রবন্ধ
ভাষা:English
প্রকাশিত: American Chemical Society 2020-10-01
মালা:ACS Omega
অনলাইন ব্যবহার করুন:https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865

অনুরূপ উপাদানগুলি