Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
প্রধান লেখক: | Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori |
---|---|
বিন্যাস: | প্রবন্ধ |
ভাষা: | English |
প্রকাশিত: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
মালা: | ACS Omega |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |
অনুরূপ উপাদানগুলি
অনুরূপ উপাদানগুলি
-
Epitaxial growth of high-quality GaN with a high growth rate at low temperatures by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition
অনুযায়ী: Arun Kumar Dhasiyan, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2024-05-01) -
Author Correction: Epitaxial growth of high-quality GaN with a high growth rate at low temperatures by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition
অনুযায়ী: Arun Kumar Dhasiyan, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2024-12-01) -
Effect of N2/H2 plasma on GaN substrate cleaning for homoepitaxial GaN growth by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition (REMOCVD)
অনুযায়ী: Frank Wilson Amalraj, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2018-11-01) -
Photoluminescence recovery by in-situ exposure of plasma-damaged n-GaN to atomic hydrogen at room temperature
অনুযায়ী: Shang Chen, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2012-06-01) -
Study of sputtered tin schottky barrier diode for Gan-hemt applications
অনুযায়ী: Li, Kang
প্রকাশিত: (2016)