Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
Κύριοι συγγραφείς: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
Μορφή: | Άρθρο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
Σειρά: | ACS Omega |
Διαθέσιμο Online: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |