Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
Päätekijät: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
Aineistotyyppi: | Artikkeli |
Kieli: | English |
Julkaistu: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
Sarja: | ACS Omega |
Linkit: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |