Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources

Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori
Ձևաչափ: Հոդված
Լեզու:English
Հրապարակվել է: American Chemical Society 2020-10-01
Շարք:ACS Omega
Առցանց հասանելիություն:https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865

Համացանց

https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865

Նմանատիպ նյութեր