Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources

書誌詳細
主要な著者: Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori
フォーマット: 論文
言語:English
出版事項: American Chemical Society 2020-10-01
シリーズ:ACS Omega
オンライン・アクセス:https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865