Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
Үндсэн зохиолчид: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
Формат: | Өгүүллэг |
Хэл сонгох: | English |
Хэвлэсэн: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
Цуврал: | ACS Omega |
Онлайн хандалт: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |