Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
Asıl Yazarlar: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
Materyal Türü: | Makale |
Dil: | English |
Baskı/Yayın Bilgisi: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
Seri Bilgileri: | ACS Omega |
Online Erişim: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |