Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
Автори: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
Серія: | ACS Omega |
Онлайн доступ: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |