Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính: Atsushi Tanide, Shohei Nakamura, Akira Horikoshi, Shigeru Takatsuji, Takahiro Kimura, Kazuo Kinose, Soichi Nadahara, Masazumi Nishikawa, Akinori Ebe, Kenji Ishikawa, Osamu Oda, Masaru Hori
Định dạng: Bài viết
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: American Chemical Society 2020-10-01
Loạt:ACS Omega
Truy cập trực tuyến:https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865