Deposition features of ferroelectric thin films at high-frequency magnetron sputtering

Deposition features of ferroelectric thin films at high-frequency magnetron sputtering

Получены профили распределения скорости нанесения при высокочастотном (ВЧ) магнетронном распылении сегнетоэлектрических мишеней танталата стронция-висмута (SBT) и ниобата-танталата стронция висмута (SBTN) в Ar/O2 смеси газов. Установлено, что при распылении SBT и SBTN мишеней в центре зоны распылени...

Full description

Bibliographic Details
Main Authors: J. E. Okojie, D. A. Golosov
Format: Article
Language:Russian
Published: Educational institution «Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics» 2019-06-01
Series:Doklady Belorusskogo gosudarstvennogo universiteta informatiki i radioèlektroniki
Subjects:
высокочастное магнетронное распыление
сегнетоэлектрики
скорость нанесения
коэффициент распыления
Online Access:https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/1001

Similar Items

Similar Items