Deposition features of ferroelectric thin films at high-frequency magnetron sputtering
Получены профили распределения скорости нанесения при высокочастотном (ВЧ) магнетронном распылении сегнетоэлектрических мишеней танталата стронция-висмута (SBT) и ниобата-танталата стронция висмута (SBTN) в Ar/O2 смеси газов. Установлено, что при распылении SBT и SBTN мишеней в центре зоны распылени...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Educational institution «Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics»
2019-06-01
|
| Series: | Doklady Belorusskogo gosudarstvennogo universiteta informatiki i radioèlektroniki |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://doklady.bsuir.by/jour/article/view/1001 |