THE FORMATION OF DISCRETE ZONES ON THE BASIS OF THEIR ALUMINUM THERMOMIGRATION IN SILICON
The study identifies the main types of defects occurring in the formation of discrete zones on the basis of aluminium selective surface wetting of silicon wafers. The dependence of defect formation on the surface microrelief, and the thickness of the protective coating of silicon oxide, the process...
| প্রধান লেখক: | , , |
|---|---|
| বিন্যাস: | প্রবন্ধ |
| ভাষা: | Russian |
| প্রকাশিত: |
North Caucasus Federal University
2022-03-01
|
| মালা: | Вестник Северо-Кавказского федерального университета |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://vestnikskfu.elpub.ru/jour/article/view/608 |