Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом
Проведено опис роботи лазерного еліпсометричного мікроскопа ЛЭМ-3 для контролю товщини тонких плівок. Показано, що еліпсометричні методи контролю дозволяють вимірювати товщини та коефіцієнти заломлення тонких прозорих діелектричних плівок у діапазоні товщин від 0,3 нм до 1500 нм (0,0003–1,5 мкм) з...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Igor Sikorsky Kyiv Polytechnic Institute
2010-12-01
|
| Series: | Технологія і техніка друкарства |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://ttdruk.vpi.kpi.ua/article/view/55700 |