Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF
Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas...
| Main Authors: | , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad de Antioquia
2006-01-01
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| Series: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003711 |