Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF
Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas...
Main Authors: | , |
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Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Universidad de Antioquia
2006-01-01
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Series: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
Subjects: | |
Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003711 |
Summary: | Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso
de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl
(60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y
0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas se depositaron sobre
probetas en estado de suministro, templadas y revenidas, nitruradas por plasma,
con recubrimientos previos de Ti y TiN a una temperatura de 230 oC. Las películas
presentaron una composición Ti0.4Al0.6N con orientación preferencial (200); las
mejores propiedades de dureza, resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste
fueron con la relación de presión de 0,1 y la mayor adherencia con la relación de
presión de 0,05. La máxima dureza fue de 2500 HK. |
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ISSN: | 0120-6230 2422-2844 |