Alat Deteksi Gas Buang Kendaraan Bermotor Berstruktur Transistor Efek Medan
Fabrikasi alat deteksi berstruktur FET menggunakan metode vakum evaporasi (VE), sedangkan proses perencanaan dengan teknik lithography. Tahapan pembuatan sensor gas sebagai berikut: permulaan dilakukan pencucian substrat Si/ SiO2 dengan etanol dalam ultrasonic cleaner, kemudian dilakukan deposisi e...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universitas Negeri Semarang
2015-05-01
|
| Series: | Jurnal Fisika |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://journal.unnes.ac.id/nju/jf/article/view/7365 |