LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE
Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine bağlanmış kirişlerden o...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Bursa Uludag University
2017-12-01
|
| Series: | Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dergipark.org.tr/tr/pub/uumfd/issue/31375/325923 |