LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE
Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine bağlanmış kirişlerden o...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Bursa Uludag University
2017-12-01
|
| Series: | Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dergipark.org.tr/tr/pub/uumfd/issue/31375/325923 |
| Summary: | Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan
Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir
manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı
Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine
bağlanmış kirişlerden oluşan bir ızgara yapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı,
üzerinden geçen akımla Lorentz kuvvetini oluştururken, elektriksel direncin ve
yapının sıcaklığının yükselmesini engellemektedir. Maksimum hassasiyet için
yapının genlik frekans tepkisinin eğiminin en büyük olduğu tahrik frekansı seçilmiştir.
Manyetometre standart SOI (Yalıtkan-Üzeri-Silisyum) mikro-işleme teknikleri
kullanılarak 35µm yapısal kalınlıkla üretilmiştir. Yapılan frekans tepkisi
testinde ÇBD yapısının tınlaşım frekansının 63812,1 Hz ve 0,2 mTorr'daki kalite
faktörünün de 5950 olduğu belirlenmiştir. Testler yapıya dik olarak oluşturulan
30mT manyetik alan altında, 100mA ızgara akımı ve 70mV tahrik genliği ile
yapılmıştır. Manyetometrenin orantı katsayısı 113.7 mV/T ve duyarlılığı 965 µT/Hz½ olarak ölçülmüştür. |
|---|---|
| ISSN: | 2148-4147 2148-4155 |