LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE
Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine bağlanmış kirişlerden o...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Bursa Uludag University
2017-12-01
|
| Series: | Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dergipark.org.tr/tr/pub/uumfd/issue/31375/325923 |
| _version_ | 1797916289359937536 |
|---|---|
| author | Kıvanç Azgın |
| author_facet | Kıvanç Azgın |
| author_sort | Kıvanç Azgın |
| collection | DOAJ |
| description | Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan
Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir
manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı
Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine
bağlanmış kirişlerden oluşan bir ızgara yapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı,
üzerinden geçen akımla Lorentz kuvvetini oluştururken, elektriksel direncin ve
yapının sıcaklığının yükselmesini engellemektedir. Maksimum hassasiyet için
yapının genlik frekans tepkisinin eğiminin en büyük olduğu tahrik frekansı seçilmiştir.
Manyetometre standart SOI (Yalıtkan-Üzeri-Silisyum) mikro-işleme teknikleri
kullanılarak 35µm yapısal kalınlıkla üretilmiştir. Yapılan frekans tepkisi
testinde ÇBD yapısının tınlaşım frekansının 63812,1 Hz ve 0,2 mTorr'daki kalite
faktörünün de 5950 olduğu belirlenmiştir. Testler yapıya dik olarak oluşturulan
30mT manyetik alan altında, 100mA ızgara akımı ve 70mV tahrik genliği ile
yapılmıştır. Manyetometrenin orantı katsayısı 113.7 mV/T ve duyarlılığı 965 µT/Hz½ olarak ölçülmüştür. |
| first_indexed | 2024-04-10T12:55:01Z |
| format | Article |
| id | doaj.art-690d7a25035b4393b89c25d0bc7781ae |
| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 2148-4147 2148-4155 |
| language | English |
| last_indexed | 2024-04-10T12:55:01Z |
| publishDate | 2017-12-01 |
| publisher | Bursa Uludag University |
| record_format | Article |
| series | Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering |
| spelling | doaj.art-690d7a25035b4393b89c25d0bc7781ae2023-02-15T16:13:33ZengBursa Uludag UniversityUludağ University Journal of The Faculty of Engineering2148-41472148-41552017-12-01223618010.17482/uumfd.3259231779LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETREKıvanç Azgın0ORTA DOĞU TEKNİK ÜNİVERSİTESİBu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine bağlanmış kirişlerden oluşan bir ızgara yapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı, üzerinden geçen akımla Lorentz kuvvetini oluştururken, elektriksel direncin ve yapının sıcaklığının yükselmesini engellemektedir. Maksimum hassasiyet için yapının genlik frekans tepkisinin eğiminin en büyük olduğu tahrik frekansı seçilmiştir. Manyetometre standart SOI (Yalıtkan-Üzeri-Silisyum) mikro-işleme teknikleri kullanılarak 35µm yapısal kalınlıkla üretilmiştir. Yapılan frekans tepkisi testinde ÇBD yapısının tınlaşım frekansının 63812,1 Hz ve 0,2 mTorr'daki kalite faktörünün de 5950 olduğu belirlenmiştir. Testler yapıya dik olarak oluşturulan 30mT manyetik alan altında, 100mA ızgara akımı ve 70mV tahrik genliği ile yapılmıştır. Manyetometrenin orantı katsayısı 113.7 mV/T ve duyarlılığı 965 µT/Hz½ olarak ölçülmüştür.https://dergipark.org.tr/tr/pub/uumfd/issue/31375/325923magnetometerdetfmemslorentz forceamplitude detectionmanyetometreçbd (çift bağlı diyapazon)memslorentz kuvvetigenlik ölçüm |
| spellingShingle | Kıvanç Azgın LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering magnetometer detf mems lorentz force amplitude detection manyetometre çbd (çift bağlı diyapazon) mems lorentz kuvveti genlik ölçüm |
| title | LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE |
| title_full | LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE |
| title_fullStr | LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE |
| title_full_unstemmed | LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE |
| title_short | LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE |
| title_sort | lorentz kuvveti tabanli tinlayan ve titresim genligi olcumu ile calisan bir mems manyetometre |
| topic | magnetometer detf mems lorentz force amplitude detection manyetometre çbd (çift bağlı diyapazon) mems lorentz kuvveti genlik ölçüm |
| url | https://dergipark.org.tr/tr/pub/uumfd/issue/31375/325923 |
| work_keys_str_mv | AT kıvancazgın lorentzkuvvetitabanlitinlayanvetitresimgenligiolcumuilecalisanbirmemsmanyetometre |