Evolución de la cristalización y la morfología superficial de películas delgadas de Cu en substratos de SiO2/Si tratadas térmicamente
En este trabajo se estudia la morfología y cristalización de la superficie de películas delgadas de Cu (expuestos al medio ambiente) sobre sustratos de SiO2/Si. Las muestras fueron sometidas a tratamientos térmicos mediante el uso de un horno tubular, en un rango de temperaturas comprendidas entre...
Main Authors: | , , , , |
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Format: | Article |
Language: | English |
Published: |
Instituto de Investigación de Física
2010-07-01
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Series: | Revista de Investigación de Física |
Subjects: | |
Online Access: | https://revistasinvestigacion.unmsm.edu.pe/index.php/fisica/article/view/8849 |