Diagnostics of deep centers on the border of film–substrate in thin-film all-epitaxial structures of GaAs
A simple method for the determination of the concentration of vacant deep traps in the vicinity of the «film — substrate» interface is proposed. The method is based on determining the increase in the width of the conducting channel under extrinsic illumination from the shift of the inflection point...
Những tác giả chính: | , , |
---|---|
Định dạng: | Bài viết |
Ngôn ngữ: | English |
Được phát hành: |
Politehperiodika
2010-08-01
|
Loạt: | Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature |
Những chủ đề: | |
Truy cập trực tuyến: | http://www.tkea.com.ua/tkea/2010/4_2010/pdf/10.zip |