Medidas dos índices de refração de materiais fotossensíveis utilizando o método de Abelès
Fotorresina positiva AZ-1518 é um exemplo de material fotossensível amplamente usado em processos litográficos em microeletrônica e em óptica para fabricação de componente de relevo. Esta fotorresina é formada pelo composto fotoativo (PAC) e de uma matriz, que é uma resina espessa denominada novolak...
Main Authors: | , , , |
---|---|
Format: | Article |
Language: | Portuguese |
Published: |
Sociedade Brasileira de Física
|
Series: | Revista Brasileira de Ensino de Física |
Subjects: | |
Online Access: | http://www.scielo.br/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1806-11172013000300032&lng=en&tlng=en |