تحضير ودراسة أفلام رقيقة نانوية البنية من TiN بطريقة الترذيذ المغنتروني الفعال DC بنسب مزج مختلفة من Ar:N2
تم ترسيب أفلام رقيقة نانوية البنية من نتريد التيتانيوم TiN عند ثلاث نسب مختلفة من النتروجين (10,25,50)%على ركائز زجاجية غير مسخنة باستخدام طريقة الترذيذ المغنتروني الفعال بالتيار المستمر DC. تم الحصول على الأفلام بالسماكات nm(264، 171، 90) على الترتيب. تمت دراسة الخصائص البنيوية والمورفولوجية...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Arabic |
| Published: |
Tishreen University
2022-09-01
|
| Series: | مجلة جامعة تشرين للبحوث والدراسات العلمية، سلسلة العلوم الأساسية |
| Online Access: | http://journal.tishreen.edu.sy/index.php/bassnc/article/view/11947 |