Patente como modelo de utilidad: reactor dual asistido por plasma generado por microondas para ataque iónico y deposición de materiales

Bibliographic Details
Main Authors:	Mauricio Arroyave Franco, Juan Manuel Jaramillo Ocampo
Format:	Article
Language:	English
Published:	Universidad EAFIT 2012-11-01
Series:	Ingeniería y Ciencia
Online Access:	http://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/1719

Internet