Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever
Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari bebera...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Indonesian |
| Published: |
LP3M Universitas Nurul Jadid
2024-04-01
|
| Series: | Journal of Electrical Engineering and Computer |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ejournal.unuja.ac.id/index.php/jeecom/article/view/8456 |