Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever
Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari bebera...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Indonesian |
| Published: |
LP3M Universitas Nurul Jadid
2024-04-01
|
| Series: | Journal of Electrical Engineering and Computer |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://ejournal.unuja.ac.id/index.php/jeecom/article/view/8456 |
| _version_ | 1827292859965898752 |
|---|---|
| author | As’ad Shidqy Aziz Jendra Sesoca Brahma Ratih Rahayu |
| author_facet | As’ad Shidqy Aziz Jendra Sesoca Brahma Ratih Rahayu |
| author_sort | As’ad Shidqy Aziz |
| collection | DOAJ |
| description | Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari beberapa mikrometer sampai milimeter. Microcantilever banyak diaplikasikan dalam sensor kimia dan biologi karena sensitifitasnya. Dalam satu dekade terakhir Microcantilever telah menjadi begitu populer karena sensitivitas yang tinggi, kemudahan dalam fabrikasi dan fleksibilitas jika diterapkan pada chipsirkuit. Juga sangat diminati karena kemudahan dalam mengkalibrasi. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah mengubah force dan dimensi pada Microcantilever. Tujuan dari Penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik dari sebuah Microcantilever karena karakteristik tersebut sangat dibutuhkan sebelum melakukan perancangan sebuah sensor berbasis Microcantilever. Dari hasil simulasi nilai displacement yang dihasilkan pada mikrokantilever adalah 5,31 x 10-10 mm apabila menggunakan force 4N; 6,64 x 10-10 mm apabila menggunakan force 5N; dan 7,97 x 10-10 mm apabila menggunakan force 6N. Ketebalan pada saat perancangan mempengaruhi frekuensi yang dihasilkan oleh mikrokantilever. ketebalan 0,75 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,31 MHz, ketebalan 1,5 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,61 MHz dan ketebalan 3 µm menghasilkan frekuensi 1,218 MHz |
| first_indexed | 2024-04-24T13:14:10Z |
| format | Article |
| id | doaj.art-9c4768534c364ce296ec272b7dc94d8d |
| institution | Directory Open Access Journal |
| issn | 2715-0410 2715-6427 |
| language | Indonesian |
| last_indexed | 2024-04-24T13:14:10Z |
| publishDate | 2024-04-01 |
| publisher | LP3M Universitas Nurul Jadid |
| record_format | Article |
| series | Journal of Electrical Engineering and Computer |
| spelling | doaj.art-9c4768534c364ce296ec272b7dc94d8d2024-04-04T23:42:28ZindLP3M Universitas Nurul JadidJournal of Electrical Engineering and Computer2715-04102715-64272024-04-0161687610.33650/jeecom.v6i1.84562905Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik MicrocantileverAs’ad Shidqy Aziz0Jendra Sesoca1Brahma Ratih Rahayu2Universitas WisnuwardhanaUniversitas WisnuwardhanaUniversitas WisnuwardhanaSistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah teknologi proses yang digunakan untuk membuat perangkat kecil perangkat atau sistem terintegrasi yang menggabungkan komponen mekanik dan listrik. Komponen tersebut dibuat menggunakan teknik pemrosesan batch sirkuit terpadu (IC) dan dapat berkisar dari beberapa mikrometer sampai milimeter. Microcantilever banyak diaplikasikan dalam sensor kimia dan biologi karena sensitifitasnya. Dalam satu dekade terakhir Microcantilever telah menjadi begitu populer karena sensitivitas yang tinggi, kemudahan dalam fabrikasi dan fleksibilitas jika diterapkan pada chipsirkuit. Juga sangat diminati karena kemudahan dalam mengkalibrasi. Metode yang digunakan dalam penelitian ini adalah mengubah force dan dimensi pada Microcantilever. Tujuan dari Penelitian ini adalah untuk mengetahui karakteristik dari sebuah Microcantilever karena karakteristik tersebut sangat dibutuhkan sebelum melakukan perancangan sebuah sensor berbasis Microcantilever. Dari hasil simulasi nilai displacement yang dihasilkan pada mikrokantilever adalah 5,31 x 10-10 mm apabila menggunakan force 4N; 6,64 x 10-10 mm apabila menggunakan force 5N; dan 7,97 x 10-10 mm apabila menggunakan force 6N. Ketebalan pada saat perancangan mempengaruhi frekuensi yang dihasilkan oleh mikrokantilever. ketebalan 0,75 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,31 MHz, ketebalan 1,5 µm menghasilkan frekuensi sebesar 0,61 MHz dan ketebalan 3 µm menghasilkan frekuensi 1,218 MHzhttps://ejournal.unuja.ac.id/index.php/jeecom/article/view/8456mirocantilever, displacement, frekuensi, mems |
| spellingShingle | As’ad Shidqy Aziz Jendra Sesoca Brahma Ratih Rahayu Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever Journal of Electrical Engineering and Computer mirocantilever, displacement, frekuensi, mems |
| title | Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever |
| title_full | Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever |
| title_fullStr | Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever |
| title_full_unstemmed | Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever |
| title_short | Pengaruh Force dan Perubahan Dimensi Terhadap Karakteristik Microcantilever |
| title_sort | pengaruh force dan perubahan dimensi terhadap karakteristik microcantilever |
| topic | mirocantilever, displacement, frekuensi, mems |
| url | https://ejournal.unuja.ac.id/index.php/jeecom/article/view/8456 |
| work_keys_str_mv | AT asadshidqyaziz pengaruhforcedanperubahandimensiterhadapkarakteristikmicrocantilever AT jendrasesoca pengaruhforcedanperubahandimensiterhadapkarakteristikmicrocantilever AT brahmaratihrahayu pengaruhforcedanperubahandimensiterhadapkarakteristikmicrocantilever |