Influencia de la temperatura del sustrato en la microestructura de recubrimientos de TiN/TiC
Las bicapas de TiN/TiC se depositaron utilizando la técnica de deposición en fase vapor asistido por plasma (PAPVD)-Arco Pulsado, variando la temperatura del sustrato en un rango de 100-120±C, con intervalos de 5±C. Los recubrimientos se analizaron por medio de XPS y XRD. A partir del tratamiento de...
| Main Authors: | , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad EAFIT
2011-12-01
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| Series: | Ingeniería y Ciencia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://publicaciones.eafit.edu.co/index.php/ingciencia/article/view/426 |