In‐Plane AlN‐based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS

In‐Plane AlN‐based Actuator: Toward a New Generation of Piezoelectric MEMS

Ցույց տալ այլ տարբերակներ (1)

Abstract A novel design that utilizes aluminum nitride (AlN) piezoelectric thin films deposited on vertical surfaces for lateral motion and sensing is a step toward emerging multi‐axial microelectromechanical systems (MEMS). This work demonstrates the fabrication process and potential applications o...

Ամբողջական նկարագրություն

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Kristina Bespalova, Tarmo Nieminen, Artem Gabrelian, Glenn Ross, Mervi Paulasto‐Kröckel
Ձևաչափ: Հոդված
Լեզու:English
Հրապարակվել է: Wiley-VCH 2023-08-01
Շարք:Advanced Electronic Materials
Խորագրեր:
aluminum nitride
in‐plane motion
MEMS
piezoelectric
thin films
Առցանց հասանելիություն:https://doi.org/10.1002/aelm.202300015

Համացանց

https://doi.org/10.1002/aelm.202300015

Նմանատիպ նյութեր