Paladžio pagrindo plonų plėvių, nusodintų iš plazma aktyvintų metaloorganinių cheminių garų fazės, apibūdinimas
Darbe naudotas plazmos aktyvintas metaloorganinių garų cheminis nusodinimas (PEMOCVD) plonoms paladžio pagrindo plėvelėms sudaryti, kaip pirmtaką naudojant paladžio (II) acetilacetonatą (Pd(acac)<sub>2</sub>), sumaišytą su argonu (nešančiosios dujos). Plėvių cheminei sandarai ir morfolog...
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Kaunas University of Technology
2012-06-01
|
| Series: | Medžiagotyra |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://matsc.ktu.lt/index.php/MatSc/article/view/1913 |