Capas de a-SiN:H modificadas mediante la irradiación con un láser de excímero
Utilizando una mezcla de silano/amoníaco o disilano/amoníaco se obtuvieron capas de nitruro de silicio amorfo hidrogenado (a-SiN:H) mediante depósito químico en fase vapor asistido por láser CO2 y ArF, ambos en configuración paralela. Estas capas se sometieron a irradiación con un láser excímero de...
| Main Authors: | , , , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
1998-04-01
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| Series: | Revista de Metalurgia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://revistademetalurgia.revistas.csic.es/index.php/revistademetalurgia/article/view/682 |