Influencia del bombardeo iónico sobre películas delgadas de nitruro de boro cúbico depositadas por pulverización catódica r. f.
Películas delgadas de nitruro de boro cúbico (c-BN) fueron depositadas mediante la técnica del d. c. y r. f. (13,56 MHz) magnetron sputtering multi-blanco, utilizando un blanco de nitruro de boro hexagonal (h-BN) con una pureza de 99,9% y una mezcla de gas Ar (95%) y N2 (5%). Los recubrimientos s...
| Main Authors: | , , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad de Antioquia
2006-01-01
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| Series: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43003718 |