Estudio mediante difracción de rayos X de las tensiones residuales producidas durante el depósito de películas delgadas de TiN sobre sustratos metálicos
En este trabajo se analizó la influencia que tiene el espesor de la película y el tipo de sustrato en el nivel y tipo de esfuerzos residuales generados en recubrimientos de TiN obtenidos por dos técnicas de deposición física en fase vapor: pulverización catódica con magnetrón e implantación iónica....
| Main Authors: | , , , |
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| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Universidad de Antioquia
2010-01-01
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| Series: | Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://www.redalyc.org/articulo.oa?id=43019327004 |