Studi Evolusi Struktur pada Deposisi Tembaga Dalam Substrat Silikon Dengan Metode Dinamika Molekuler
Abstrak. Metode dinamika molekuler digunakan untuk mempelajari deposisi atom tembaga (Cu) pada substrat silikon (Si). Interaksi atom-atom Si-Si, Cu-Cu, dan Cu-Si masing-masing dideskripsikan dengan potensial interatomik Tersoff, MEAM, dan Morse. Ensembel NVE dan termostat Berendsen digunakan dalam s...
Main Author: | |
---|---|
Format: | Article |
Language: | Indonesian |
Published: |
Universitas Islam Bandung
2019-05-01
|
Series: | Matematika |
Online Access: | https://ejournal.unisba.ac.id/index.php/matematika/article/view/4565 |