Studi Evolusi Struktur pada Deposisi Tembaga Dalam Substrat Silikon Dengan Metode Dinamika Molekuler

Abstrak. Metode dinamika molekuler digunakan untuk mempelajari deposisi atom tembaga (Cu) pada substrat silikon (Si). Interaksi atom-atom Si-Si, Cu-Cu, dan Cu-Si masing-masing dideskripsikan dengan potensial interatomik Tersoff, MEAM, dan Morse. Ensembel NVE dan termostat Berendsen digunakan dalam s...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Aulia Fikri Hidayat
Format: Article
Language:Indonesian
Published: Universitas Islam Bandung 2019-05-01
Series:Matematika
Online Access:https://ejournal.unisba.ac.id/index.php/matematika/article/view/4565