Design and analysis of a scanning beam interference lithography system for patterning gratings with nanometer-level distortions

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2003.

書誌詳細
第一著者:	Konkola, Paul Thomas, 1973-
その他の著者:	Mark L. Schattenburg.
フォーマット:	学位論文
言語:	eng
出版事項:	Massachusetts Institute of Technology 2005
主題:	Mechanical Engineering.
オンライン･アクセス:	http://hdl.handle.net/1721.1/16958

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http://hdl.handle.net/1721.1/16958