Temperature homogenization with tungsten absorber on X-ray mask

Thesis (M. Eng.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 1994.

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Li, Huiying
Tác giả khác: Henry I. Smith.
Định dạng: Luận văn
Ngôn ngữ:eng
Được phát hành: Massachusetts Institute of Technology 2007
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://hdl.handle.net/1721.1/35964