Air-gap sacrificial materials by initiated chemical vapor deposition

Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Chemical Engineering, 2007.

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Lee, Long Hua
Muut tekijät:	Karen K. Gleason.
Aineistotyyppi:	Opinnäyte
Kieli:	eng
Julkaistu:	Massachusetts Institute of Technology 2009
Aiheet:	Chemical Engineering.
Linkit:	http://hdl.handle.net/1721.1/44292

Internet

http://hdl.handle.net/1721.1/44292