Control of wafer-scale non-uniformity in chemical-mechanical planarization by face-up polishing

Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2008.

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Mau, Catherine (Catherine K.)
Övriga upphovsmän:	Jung-Hoon Chun and Nannaji Saka.
Materialtyp:	Lärdomsprov
Språk:	eng
Publicerad:	Massachusetts Institute of Technology 2009
Ämnen:	Mechanical Engineering.
Länkar:	http://hdl.handle.net/1721.1/45202

Internet

http://hdl.handle.net/1721.1/45202