Method and instrumentation for the measurement and characterization of MEMS fabricated electrical contacts

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2010.

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Read, Melissa B. (Melissa Beth), 1982-
Muut tekijät:	Alexander H. Slocum.
Aineistotyyppi:	Opinnäyte
Kieli:	eng
Julkaistu:	Massachusetts Institute of Technology 2010
Aiheet:	Mechanical Engineering.
Linkit:	http://hdl.handle.net/1721.1/57891

Internet

http://hdl.handle.net/1721.1/57891