Scratching by pad asperities in chemical mechanical polishing

Thesis (S.B.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2011.

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Roberts, Michael P. (Michael Philip)
Tác giả khác:	Jung-Hoon Chun.
Định dạng:	Luận văn
Ngôn ngữ:	eng
Được phát hành:	Massachusetts Institute of Technology 2012
Những chủ đề:	Mechanical Engineering.
Truy cập trực tuyến:	http://hdl.handle.net/1721.1/68855

Internet

http://hdl.handle.net/1721.1/68855