Design of a hermetically sealed MEMS resonator with electrostatic actuation and capacitive third harmonic sensing

Thesis (S.M.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 2012.

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Newton, Eric B
مؤلفون آخرون:	Carol Livermore.
التنسيق:	أطروحة
اللغة:	eng
منشور في:	Massachusetts Institute of Technology 2012
الموضوعات:	Mechanical Engineering.
الوصول للمادة أونلاين:	http://hdl.handle.net/1721.1/70438

الانترنت

http://hdl.handle.net/1721.1/70438