Characterization and modeling of pattern dependencies in copper interconnects for integrated circuits

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 2002.

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Park, Tae Hong, 1973-
Այլ հեղինակներ:	Duane S. Boning.
Ձևաչափ:	Թեզիս
Լեզու:	eng
Հրապարակվել է:	Massachusetts Institute of Technology 2005
Խորագրեր:	Electrical Engineering and Computer Science.
Առցանց հասանելիություն:	http://hdl.handle.net/1721.1/8082

Համացանց

http://hdl.handle.net/1721.1/8082