Characterization and modeling of pattern dependencies in copper interconnects for integrated circuits

Thesis (Ph. D.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Electrical Engineering and Computer Science, 2002.

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Park, Tae Hong, 1973-
Այլ հեղինակներ: Duane S. Boning.
Ձևաչափ: Թեզիս
Լեզու:eng
Հրապարակվել է: Massachusetts Institute of Technology 2005
Խորագրեր:
Առցանց հասանելիություն:http://hdl.handle.net/1721.1/8082