Optomechanical and photothermal interactions in suspended photonic crystal membranes
We present here an optomechanical system fabricated with novel stress management techniques that allow us to suspend an ultrathin defect-free silicon photonic-crystal membrane above a Silicon-on-Insulator (SOI) substrate with a gap that is tunable to below 200 nm. Our devices are able to generate st...
| Հիմնական հեղինակներ: | , , , , , , , , , |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ձևաչափ: | Հոդված |
| Լեզու: | en_US |
| Հրապարակվել է: |
Optical Society of America
2013
|
| Առցանց հասանելիություն: | http://hdl.handle.net/1721.1/81260 https://orcid.org/0000-0001-7327-4967 |